為了縮短氮化周期，并使氮化工藝不受鋼種的約束，在近年間在原氮化工藝基礎上發(fā)展了軟氮化和離子氮化兩種新氮化工藝。
軟氮化熱處理實質上是以滲氮為主的低溫氮碳共滲，鋼的氮原子進入的一起，還有少數(shù)的碳原子進入，其處理結果與一般氣體氮化比較，滲層硬度較氮化低，脆性較小，故稱為軟氮化。

1、軟氮化熱處理辦法分為：氣體軟氮化、液體軟氮化及固體軟氮化三大類。目前國內生產中使用最廣泛的是氣體軟氮化。氣體軟氮化是在含有活性氮、碳原子的氣氛中進行低溫氮、碳共滲，常用的共滲介質有尿素、、氨氣和三乙醇胺，它們在軟氮化溫度下發(fā)生熱分化反響，發(fā)生活性氮、碳原子。活性氮、碳原子被工件外表吸收，經過擴散進入工件表層，然后獲得以氮為主的氮碳共滲層。
氣體軟氮化溫度常用560-570℃，因該溫度下氮化層硬度值最高。氮化時刻常為2-3小時，因為超越2.5小時，隨時刻延伸，氮化層深度添加很慢。

2、軟氮化層安排和軟氮化特色：鋼經軟氮化后，外表最外層可獲得幾微米至幾十微米的白亮層，它是由ε相、γ`相和含氮的滲碳體Fe3（C，N）所組成，次層為的擴散層，它主要是由γ`相和ε相組成。

軟氮化熱處理具有以下特色：
(1)、處理溫度低，時刻短，工件變形小。
(2)、不受鋼種約束，碳鋼、低合金鋼、工模具鋼、不銹鋼、鑄鐵及鐵基粉未冶金資料均可進行軟氮化處理。工件經軟氮化后的外表硬度與氮化工藝及資料有關。

3、能顯著地進步工件的疲勞強度、耐磨性和耐腐蝕性。在干沖突條件下還具有抗擦傷和抗咬合等性能。
4、因為軟氮化層不存在脆性ξ相，故氮化層硬而具有必定的韌性，不容易脫落。因而，目前生產中軟氮化巳廣泛使用于模具、量具、刀具（如：高速鋼刀具）等、曲軸、齒輪、氣缸套、機械結構件等耐磨工件的處理。